Sensera公司实例告诉您：MEMS制造如何满足跨行业质量标准

据麦姆斯咨询报道，微机电系统（MEMS）是在专业微电子代工厂完成制造的器件，结合了电子功能和机械功能。MEMS作为一种技术..，已经制造出独特的传感器和执行器，可以“扮演”眼睛、耳朵、鼻子、舌头甚至器官的角色。最初MEMS给予了人类无限的遐想和希望，但在实际制造时面临的挑战却常常令人畏惧。这是因为MEMS种类繁多，应用于各行各业中，而每个行业都有独特的标准和技术要求。

[本文来自：www.11jj.com]

MEMS材料与工艺手册

作者：（美）格迪斯，（美）林斌彦　著，黄庆安　等译

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定制设计是MEMS技术的特点，通常具有高纵深比（高、细、易断）。很多MEMS器件用于苛刻的热环境并受到机械应力。虽然MEMS制造与集成电路（IC）制造相似，但MEMS通常使用非常规材料，还需要具备更广泛的功能。从分类的角度看，IC分为几种基本类型，而MEMS器件呈现多种形式，包括加速度计、陀螺仪、压力传感器、喷墨打印头、显示器、麦克风等。

MEMS的应用和种类繁多，因此制造高质量MEMS器件是非常具有挑战性的。本文探讨了MEMS的具体应用，以及如何通过正规的质量系统实现产品质量一致性的量产交付。

例如，由MEMS器件领先供应商Sensera在硅片上制造的器件中排布了数千个微柱（micropillars）——微柱直径约6微米（大约是头发丝直径的十分之一），高40微米。这些管芯被用作制造聚合物膜的模具。聚合物膜可以应用在微流控装置中，用于器官芯片，从而更好地理解人体生物学。

微柱放大500倍后的扫描电子显微镜（SEM）图片

正如哈佛大学Wyss Institute for Biologically Inspired Engineering（怀斯生物启发工程研究所）高级工程师Richard Novak博士所描述的那样：“这些被称为器官芯片的微型芯片，为替代传统的动物试验提供了可能。每颗器官芯片都包含一层柔性聚合物膜，大小与计算机记忆棒相当，聚合物中含有排列了人体活细胞的微流控管道。通道与人工静脉相连接，其中也排列了人体活细胞。施加于这些通道的机械力模拟活体器官的功能，包括肺的呼吸和肠道蠕动状的变形。”