华芯半导体的VCSEL生产线选择OIPT等离子刻蚀设备

[好文分享：www.11jj.com]

位于中国泰州的人脸识别VCSEL研发和制造厂商华芯半导体选择牛津仪器等离子技术公司（OIPT）的Cobra等离子蚀刻设备。

据麦姆斯咨询报道，牛津仪器等离子技术公司（Oxford Instruments Plasma Technology，简称OIPT）近日宣布，华芯半导体（Sino-semic）已经选择了其Cobra等离子蚀刻设备，，用于VCSEL产品的批量生产。

华芯半导体员工全部是中国本土培养的优秀人才，其中VCSEL产品研发团队有30多人，具有博士学位或中高级职称的骨干成员超过10人，在器件结构设计、外延生长、芯片制程、封装测试、可靠性分析等方面都有行业内顶尖的领军人物。团队核心成员主要毕业于中国科学院，有多人先后承担973、863等国家重大项目以及自然科学基金等国家级科研项目。

2017年中旬，华芯半导体全自主开发的VCSEL开始提供客户测试；同年年底，850nm 10G VCSEL芯片开始批量出货，并且进行940nm VCSEL项目立项。今年，940nm VCSEL芯片已经进入批量出货阶段。

华芯半导体副总经理李军表示：“无与伦比的工艺能力和响应积极的本地支持是我们选择OIPT等离子刻蚀设备的原因，这对于VCSEL的批量生产非常重要。”

Cobra工艺解决方案旨在支持前沿器件研发和应用，如激光器、射频、电源、高端LED等。

“基于VCSEL的消费类电子设备正在进入一个令人兴奋的增长阶段，” OIPT董事总经理Richard Pollard表示，“我们很高兴为中国先进的激光器生产制造商（如华芯半导体）提供我们的VCSEL工艺解决方案！”

推荐..：

2018年10月18~21日，由麦姆斯咨询主办的《光学MEMS和传感器..课程》将在无锡开幕，知名讲师传授结构光和ToF核心技术：（1）MEMS微镜技术及应用；（2）红外焦平面阵列探测器技术及应用；（3）红外光源（以VCSEL为主）技术及应用；（4）衍射光学元件（DOE）技术及应用；（5）硅光电倍增器（SiPM）技术及应用；（6）ToF图像传感器技术及应用；（7）可见光图像传感器、光学指纹传感器技术及应用；（8）选修课程：光学MEMS设计与有限元仿真。

详情及报名请联系：

麦姆斯咨询
联系人：彭琳
电话：17368357393
E-mail：penglin@memsconsulting.com

延伸阅读：
《VCSEL技术、产业和市场趋势》

《3D成像和传感-2018版》

《苹果iPhone X近红外3D摄像头传感器》

《英特尔RealSense 3D摄像头与意法半导体红外激光发射器》
《联想Phab 2 Pro三维飞行时间（ToF）摄像头》

《苹果iPhone X的ToF接近传感器和泛光照明器》

《苹果iPhone X红外点阵投影器》

《英特尔RealSense主动红外立体深度摄像头：D435》

《汽车和工业应用的激光雷达-2018版》
《汽车激光雷达专利全景分析-2018版》
《大陆集团最先进的ADAS激光雷达：SRL1》
《LeddarTech固态激光雷达（LiDAR）模组：LeddarVu》