中国芯片产业深度调查｜芯片市场需求猛增，哪些企业最受益？(4)

北方华创在硅刻蚀机领域实现突破，2016年研发出了14nm工艺的硅刻蚀机。目前中芯国际在研发的14nm工艺，就在验证使用北方华创的硅刻蚀机。 [转载出处：www.11jj.com]

北方华创在PVD设备和单片退火设备领域也实现了批量出货，目前主要在28nm级别。在薄膜沉积设备领域，北方华创进展较快，多种14nm的生产设备也在产线验证中。

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北方华创还有第四种关键设备——清洗机。2017年8月7日，北方华创花费1500万美元收购了美国Akrion公司。后者是一家专注于硅片清洗设备业务的公司。

中电科电子装备公司

中电科电子装备公司，2016年销售收入9.08亿元，中电科装备隶属于中国电子科技集团。

电科装备目前是国内唯一集研发、制造、服务于一体的离子注入机供应商，已经为中芯国际完成了将近200万片的生产量。

2017年11月21日，电科装备自主研发的200mmCMP商用机完成内部测试，发往中芯国际天津公司进行上线验证。实现了我国在此领域零的突破。

除了集成电路晶圆制造两大关键设备以外，电科装备还是国内主力的集成电路封装设备制造商，其封装设备累计销售2000余台套，已经批量应用于长电科技、通富微电、苏州晶方等国内知名封测企业。

晶盛机电（300316.SZ）

晶盛机电主要营收来自单晶炉为核心的单晶硅生产设备，主要应用于光伏产业。据悉，2017年以来接到的总半导体设备订单才刚刚达到1.3亿元。不过，其获得了全球十大硅片供应商之一..合晶科技8000万元的设备订单。

2017年10月31日，晶盛机电与中环股份以及无锡市政府签订合作协议,计划在江苏宜兴建设集成电路用大硅片生产与制造项目,总投资30亿美元,第一期投资15亿美元。国内极度缺乏大硅片项目，处于被日韩台卡脖子的状态，..信越、..SUMCO、..环球、德国Siltronic、韩国SKSiltronic五家垄断了98%的份额，其中..的两家占了全球60%。因此晶盛机电该项目值得后续关注。

中微半导体

2017年中微半导体实现销售额11亿元。产品主要覆盖三大领域，一是LED芯片MOCVD机台。