中国芯片产业深度调查｜芯片市场需求猛增，哪些企业最受益？(5)

中微半导体在2017年10月宣布，其MOCVD设备Prismo A7机型出货量已突破100台，迈向重要里程碑，该款MOCVD在2016年才推向市场，由于持续接到新订单，中微预计2017年底可望出货约120台MOCVD设备。

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整个中国大陆市场2017年预计新增的MOCVD大约为200台，按照中微半导体的出货量，国内市场占有率可以达到30%-40%，甚至以上，这是非常不错的成绩。

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第二个产品是介质刻蚀机，用于集成电路芯片制造，目前已经可以做到22nm及以下，中微半导体的14nm也在产线进行验证，同时在推进5nm的联合研究。

第三是硅通孔刻蚀设备，主要用于集成电路芯片的先进封装。

中微处于比较好的发展态势，MOCVD机台已经受住了量产的考验，将会迎来大批量出货时期，其多年来集中力量攻关的等离子体介质刻蚀机，已经在国际大厂部署多年。

上海微电子公司

在光刻机领域，上海微电子公司2016年半导体设备收入为2.9亿元，该公司具备研发和制造光刻机的能力。也是国内唯一从事光刻机研发制造的公司，不过目前只能做到90nm。业界主要制程工艺，基本已经在65nm以下，上海微电子也在进行65nm制程工艺光刻机的研发。

目前，荷兰ASML已经占据光刻机领域大约80%的市场份额，垄断了高端光刻机市场，..尼康在高端光刻机上已经彻底败退， 英特尔、台积电、三星、格罗方德、联电以及中芯国际等晶圆厂的光刻机目前基本来自ASML。

最先进的EUV光刻机全球仅有ASML能够生产，ASML在2016下半年出售的两台EUV光刻机，单价都超过1亿美元，而落后EUV一代的ArF光刻机平均售价也在四五千万欧元左右。可以说光刻机是集成电路制造领域最后的皇冠。

以上几家生产设备厂家，客户集中在国内，客户包括中芯国际、华力微电子等厂家。

中国集成电路产业的发展，直接影响甚至决定着上游国产设备厂家的发展。中国电科、北方华创、中微半导体、上海微电子、盛美半导体组成的中国半导体设备群体，成才空间巨大，星星之火，可以燎原。

独家专访 | 许立荣 中远海运全球起航