杀手级应用诞生，MEMS超声波换能器起飞在即！(2)

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解释上述时间因素主要有四点。首先，市场应用正在推动MEMS超声波换能器发展。由于更便宜且更小的探头诞生，医疗超声波成像将实现平民化，，全科医生甚至家庭都可以负担使用。在消费类应用中，超声波指纹传感器可以实现显示屏下感测识别，从而促进全面屏智能手机的出现！

第二，MEMS超声波换能器技术已经准备就绪。PMUT需要可控的压电薄膜制造工艺，这项技术的成熟得益于压电式喷墨打印头的用量增加。同时，CMUT也离不开精密的制造工艺，以解决大薄膜中存在的机械应力问题。

第三，业内厂商一直在投资MEMS超声波换能器技术，并为供应链做好准备。日立（Hitachi）和飞利浦（Philips）主攻CMUT，富士胶片（FUJIFILM）Dimatix和意法半导体（STMicroelectronics）主攻PMUT，而格罗方德（GlobalFoundries）和Silex Microsystems则同时涉足CMUT和PMUT。

最后但同样重要的是，作为制造业重要环节的“组装”也蓄势待发。面对大众市场，同欣电子（Tong Hsing Electronic）、飞利浦（Philips）和SilTerra等公司为大批量生产做好了准备。

MEMS超声波传感技术（PMUT和CMUT）“起飞”在即

电容式微机械超声换能器工作机理与应用基础

作者：王红亮

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