杀手级应用诞生，MEMS超声波换能器起飞在即！(4)

当当 广告

购买 [原文来自：www.11jj.com]

从技术角度来看，我们看到如今的超声波模组市场几乎完全由体压电换能器（bulk piezoelectric transducers）占据。这是超声波传感的传统技术，并将继续作为停车辅助和自动化等应用的黄金标准。CMUT是30年前研发出的技术，主要应用于医疗领域，最近才发现其“杀手级”应用：手持式超声波设备。对于PMUT，由于它的高集成度，适合大批量应用领域。小型化、低成本和高集成度是超声波换能器技术的主要驱动力。

本报告研究的超声波传感领域

本报告介绍超声波换能器生态系统的发展情况，以及MEMS超声波换能器技术将如何迅速渗透至超声波市场。

主要面临的挑战已经解决，MEMS超声波换能器产业满怀希望

在日立2008年6月发布新款数字化彩色超声波诊断仪之后，经过十年长期的努力，MEMS超声波换能器技术终于引起产业很高的期望。虽然主要面临的挑战已经解决，但是业界还在研发新型MEMS超声波换能器，并根据市场应用进行优化。

MEMS器件不仅要性能满足需求，还需在研发和生产设施方面投入巨资。MEMS代工厂现在已经为超声波换能器做足准备，可提供大批量生产服务。在前道工艺方面，薄膜压电层沉积工艺取得了很大进步，并实现了均匀性和一致性。Teledyne Dalsa的钪掺杂氮化铝（AlN）、富士胶片（Fujifilm）的铌掺杂PZT，显著地提升了PMUT器件性能。

压电换能器设计原理

作者：王德石,张恺

当当 广告

购买